機種名 | HX060-200M2F |
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用途 | 刃物、ドリルなど耐摩耗性や耐食性が必要な部品等のDLCコーティング用ヒーター電源 |
DLC(Diamond-Like Carbon)コーティングとは:
真空中に炭素性ガスを封入し、グロー放電により鋼表面に数ミクロンの黒色炭素膜を生成させる処理で、ダイヤモンドに類似した高硬度・電気絶縁性・赤外線透過性などを持つ。
DLCコーティング装置で使われる電源
放電用電源(RF電源、直流電源)
バイアス電源、ヒーター用電源
低圧の気体中にグロー放電を行いコーティングを行うが、不安定な環境の中での放電になる為、高安定度、高精度の電源が必要になる。
実験で安定性が確認できたので採用になった。